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皮拉尼真空计的简介

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发表于 2019-7-3 14:22:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
皮拉尼真空计,又有翻译派蓝尼真空计。此种真空计属于热传导式真空计的一种
工作原理如下:
利用惠斯通电桥的补偿原理,其中的一灯丝作为该电路的其中一个电阻。当灯丝所在的气体分子密度改变时,其热导率会有所不同,因此灯丝所表现的温度也会不同,间接影响电阻值的大小。固定电压,固定电流以及固定温度中以最后一种方法做敏感。值得注意的是,不同气体的热导率不同,因此在测量的时候要刻度上需要校对。
此行真空计通过测量一发热体与一接收发热体之间的热传导程度来判断气体的压力。
当Kn值(克努森数)在0.01 <Kn< 10 之间时,热传导的量与压力成正比。
在低压力时,热的失散可以通过三种途径,分别是周围气体的导热,热辐射,以及支柱发热体的主干。
为了使测量压力的精确度提高,因尽可能的避免后两种的热量损失。
皮拉尼真空机中的惠斯通电桥电路一般采用热导式的传感器,深圳市工采网专业提供此类传感器MTCS2601,具体如下:

热导式传感器MTCS2601的特点:
• MEMS 传感器遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理,基于气体热导率变化对于压力
• 测量范围: 0.0001~1000mbar,卓越的可重复性
• 硅晶片上有加热电阻,并且有优异的温度补偿
• 超小的传感器气体体积例如<0.1cm3
• 稳定和长的 MTBF(>30000 小时),基于物理阻抗感应原理
• 超低功耗消耗(<6mW) ,由于使用了带小加热元件的 MEMS 传感器
• 超快响应时间<50mS
• 对安装位置不敏感
• 可以使用在串扰气体环境中
• 与一个简单恒定的温度电路兼容

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